每个半导体元件产品的制造都需要数百道工序。经过整理,整个制造过程分为八个步骤:晶圆加工、氧化、光刻、蚀刻、薄膜沉积、互连、测试、封装。
每个步骤又分若干步骤,如:第三步光刻又可分为涂覆光刻胶、曝光和显影三个步骤。
光刻是通过光线将电路图案“印刷”到晶圆上,我们可以将其理解为在晶圆表面绘制半导体制造所需的平面图。
从智能手机、笔记本电脑、***到地铁,我们日常生活所依赖的各种物品都用到了半导体。
每个半导体产品的制造都需要数百个工艺,泛林集团将整个制造过程分为八个步骤:晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装。
1、芯片的原料晶圆
晶圆的成分是硅,硅是由石英沙所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成硅晶棒,成为制造集成电路的石英半导体的材料,将其切片就是芯片制作具体所需要的晶圆。晶圆越薄,生产的成本越低,但对工艺就要求的越高。
2、晶圆涂膜
3、晶圆光刻显影、蚀刻
在晶圆(或衬底)表面涂上一层光刻胶并烘干。烘干后的晶圆被传送到光刻机里面。光线透过一个掩模把掩模上的图形投影在晶圆表面的光刻胶上,实现曝光,激发光化学反应。对曝光后的晶圆进行第二次烘烤,即所谓的曝光后烘烤,后烘烤是的光化学反应更充分。
DIP(Dual Inline Package)半导体工艺流程通常包括以下几个步骤:
1. 芯片制备:通过晶片切割、抛光和腐蚀等工艺将硅晶片切成小的芯片。
2. 探针测试:将芯片放置在被称为探针卡的支架上,通过探针测试仪器进行电性能测试,以验证芯片的质量和性能。
3. 焊球制备:在芯片上加热蒸发一层金属薄膜,然后通过高温熔化金属,使其形成焊球。
4. 封装:将芯片放入DIP封装机中,封装机会将芯片和焊球连接,然后将芯片包裹在塑料壳体中。
5. 测试:对封装好的芯片进行功耗、通电、温度和信号等方面的测试,以确保其工作正常。
6. 标记和分类:将芯片标记和分类,以方便后续的存储和使用。
7. 全面测试:对封装好的芯片进行一系列全面测试,包括可靠性测试和环境适应性测试等,以验证芯片的品质和可靠性。
8. 包装和出货:将经过全面测试的芯片进行包装,并按照订单要求进行出货。
需要注意的是,不同的芯片制造厂商和不同的芯片类型可能会有不同的工艺流程,以上流程仅为一般的DIP半导体工艺流程示意。
半导体新产品开发流程一般经过新品立项,项目审批,资金拨付,新品研发,新品生产等过程。
1.新品立项。
2.项目审批。
3.资金拨付。
报告通过,财务部门拨付研发资金。
4.新品研发及生产。